臺式勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝。臺式勻膠機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，臺式勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
 

　　臺式勻膠機(jī)的使用注意事項(xiàng)：
 

　　1、請使用本機(jī)規(guī)定的電源；
 

　　2、要防止電源線壓在機(jī)腳下，以防損傷電源線導(dǎo)致觸電；
 

　　3、每次開機(jī)前要注意將“控制”、“吸片”鍵抬起，以避免未啟動(dòng)時(shí)電機(jī)即轉(zhuǎn)；
 

　　4、不同片子選用不同規(guī)格的片托，片子不能小于片托外形尺寸，否則，一是漏氣，二是膠會通過片托上的吸氣槽吸到光電盤吸氣孔，抽氣室及抽氣管道，長期使用發(fā)生堵塞；
 

　　5、勻膠機(jī)在使用后要注意清洗，避免膠將抽氣孔堵塞，清洗方法是：取下片托和盛膠器進(jìn)行清洗，然后再裝上即可；
 

　　6、按下“吸氣”鍵應(yīng)聽到電磁閥的動(dòng)作聲，如果有噪聲可反復(fù)按此鍵即可消除；
 

　　7、本機(jī)一旦出現(xiàn)故障或異常情況請立即切斷電源。
 

　　8、本機(jī)無吸氣和電機(jī)連鎖裝置，在氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)吸片確已吸住。
 

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